Évaluation de la propreté selon IEST-STD-CC1246D
Dans ce rapport, une plaquette témoin en silicium de 4 pouces est soumise pour une évaluation de la propreté selon IEST-STD-CC1246D. Le rapport disponible ci-dessous est un exemple de ce que Clemex PSFilter 2 peut produire conformément à cette norme.
L’image de la plus grosse particule trouvée sur la plaquette est présentée dans le rapport.
Solution Clemex pour l’évaluation de la propreté selon IEST-STD-CC1246D
Solution
Il s’agit d’un rapport entièrement automatisé généré avec Clemex PSFilter 2 conformément à IEST-STD-CC1246D. Toute la surface de la plaquette est analysée pour évaluer le niveau de propreté d’une salle blanche. La méthode de Poisson est utilisée pour déterminer l’intervalle de confiance à 95 % (de la limite de confiance inférieure [LCL] à la limite de confiance supérieure [UCL]) du nombre de particules. Les comptages normalisés pour chaque intervalle de taille sont comparés aux valeurs admissibles.
Résultats
Toutes les particules trouvées sont mesurées et leur distribution est présentée dans ce graphique. Le nombre de particules pour chaque intervalle de taille est déterminé et comparé aux comptages maximaux acceptables.
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